超精密加工技術崛起于戰爭

　　超精密研磨加工技術是現代高技術戰爭的重要支撐技術，是現代高科技產業和科學技術的發展基礎，是現代制造科學的發展方向。以超精密研磨加工技術支撐高性能武器，對第一次海灣戰爭(1992年)、科索沃戰爭(1996年)、阿富汗戰爭(1999年)、及第二次海灣戰爭(2003年)的進程及結果發揮了決定性作用。以超精密研磨加工技術為支撐的三代半導體器件，為電子、信息產業的發展奠定了基礎?，F代科學技術的發展以試驗為基礎，所需試驗儀器和設備幾乎無一不需要超精密加工技術的支撐。由宏觀制造進入微觀制造是未來制造業發展趨勢之一，當前超精密加工已進入納米尺度，納米制造是超精密加工較前沿課題。世界發達國家均予以高度重視。各國啟動的研究計劃包括，2001年美國的NNT(National nanotechnologyinitiave)計劃、英國的多學科納米研究計劃IRC(Interdisciplinary research collaboration in nanote-chnology),2002年日本的納米技術支撐計劃。目前的超精密加工，以不改變工件材料物理性能為前提，以獲得極限的形狀精度、尺寸精度、表面粗糙度、表面完整性(無或較少的表面損傷，包括微裂紋等缺陷、殘余應力、組織變化)為目標。

　　超精密加工的研究內容，既影響超精密加工精度的各種因素包括：超精密加工機理、被加工材料、超精密加工設備、超精密加工工具、超精密加工夾具、超精密加工的檢測與誤差補償、超精密加工環境：(包括恒溫、隔振、潔凈控制等)和超精密加工工藝等。一直以來國外學者圍繞這些內容展開了研究。